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精确的金属管浮子流量计改善了真空镀膜结果

发布日期:2019-08-26  来源:  作者:  浏览次数:
【导读】:多变量MQ系列流量计和MCQ系列金属管浮子流量计可测量质量流量,体积流量和压力。因此,可以设置控制器用于质量流量的闭环控制,同时还报告压力或压力的闭环控制,同时还报告质量流量。每台仪器都配有NIST可溯源校准证书,证明了满量程精度的2%。......
亚利桑那州图森市扩展其快速响应流量仪表产品,Alicat Scientific增加了高压质量流量计和相应的高压金属管浮子流量计系列。MQ系列仪表和MCQ系列金属管浮子流量计可在高压系统中运行,非常高可达320 PSIA(22 bar)。新产品可确保精确稳定的系统性能,传感器响应速度为10 ms,控制器响应时间小于100 ms。
 
多变量MQ系列流量计和MCQ系列金属管浮子流量计可测量质量流量,体积流量和压力。因此,可以设置控制器用于质量流量的闭环控制,同时还报告压力或压力的闭环控制,同时还报告质量流量。每台仪器都配有NIST可溯源校准证书,证明了满量程精度的2%。
 
仪器预装了多达98个车载气体校准装置。Alicat内置的COMPOSER™气体混合软件可用于使用标准气体列表组成多达20种定制混合物。气体类型的变化几乎不影响精度,并且自动重新校准满量程阀门范围以保持吞吐量范围。
 
金属管浮子流量计提供多变量接口显示,以及每台仪器上数据丰富的串行和模拟连接,可用作独立设备或响应式集成系统组件。数字(RS-232,RS-485,Modbus)和模拟(0-5v,0-10v,4-20mA)通信均可定制,以适应各种非常终用户应用。Alicat提供NPT,SAE,下行和NeSSi过程连接。阀门类型和孔口尺寸的选择允许配置产品以获得非常佳速度和稳定性。
金属管浮子流量计.jpg
Alicat MCE和MCV精确控制气体流速低至0-0.5 sccm满量程或高达0-20 slpm满量程,控制响应时间为50至100毫秒。快速响应时间可以大大改善真空镀膜终端产品,并有助于消除目标中毒。集成的气动截止阀通常是关闭的,可提供1 x 10-9 atm-sccm / sec的非常大氦气关闭。
 
MCE可以替代传统的MKS 1179A型Mass-Flo®,而MCV则可以取代已停产的MKS 2179A型Mass-Flo®。金属管浮子流量计采用通用12-30 VDC电源供电,Alicat将匹配9针或15针D-sub连接器上任何预先存在的针脚,便于更换。这些装置可以任何方向安装,甚至可以倒置安装,无需重新校准,从而进一步简化了安装。

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